一,測試原理:

　　當四根金屬探針排成一條直線,并以一定壓力壓在半導體材料上時,在1,4兩根探針間通過電流I,則2,3探針間產生電位差V(如圖所示).

　　根據公式可計算出材料的電阻率:

　　其中,C為四探針的探針系數(cm),它的大小取決于四根探針的排列方法和針距.

　　二,儀器操作:

　　(一)測試前的準備:

　　1,將電源插頭插入儀器背面的電源插座,電源開關置于斷開位置;

　　2,工作方式開關置于"短路"位置,電流開關處于彈出位置;

　　3,將手動測試架的屏蔽線插頭與電氣箱的輸入插座連接好;

　　4,對測試樣品進行一定的處理(如噴沙,清潔等);

　　5,調節室內溫度及濕度使之達到測試要求.

　　(二)測試:

　　首先將電源開關置于開啟位置,測量選擇開關置于"短路",出現數字顯示,通電預熱半小時.

　　1,放好樣品,壓下探頭,將測量選擇開關置于"測量"位置,極性開關置于開關上方;

　　2,*PRS-801表面電阻測試儀選擇適當的電壓量程和電流量程,數字顯示基本為"0000",若末位有數字,可旋轉調零調節旋鈕使之顯示為"0000";

　　3,將工作方式開關置于"I調節",按下電流開關,旋動電流調節旋鈕,使數字顯示為"1000",該值為各電流量程的滿量程值;

　　4,再將極性開關壓下,使數顯也為1000±1,退出電流開關,將工作方式開關置于1或6.28處(探頭間距為1.59mm時置于1位置,間距為1mm時置于6.28位置);

　　(調節電流后,上述步驟在以后的測量中可不必重復;只要調節好后,按下電流開關,可由數顯直接讀出測量值.)

　　5,若數顯熄滅,僅剩"1",表示超出該量程電壓值,可將電壓量程開關撥到更;

　　6,讀數后,將極性開關撥至另一方,可讀出負極性時的測量值,將兩次測量值取平均數即為樣品在該處的電阻率值.

　　三,注意事項:

　　1,壓下探頭時,壓力要適中,以免損壞探針;

　　2,由于樣品表面電阻可能分布不均,測量時應對一個樣品多測幾個點,然后取平均值;

　　3,*PRS-801表面電阻測試儀樣品的實際電阻率還與其厚度有關,還需查附錄中的厚度修正系數,進行修正.